
Проект электронного бесшумного цеха – это системная инженерия, создающая контролируемую чистую среду для точного производства электронных изделий (таких как полупроводники, микроэлектроника, жидкокристаллические дисплеи и т.д.). Обеспечивается устойчивый контроль таких параметров, как кон...
Проект электронного бесшумного цеха — это системная инженерия, создающая контролируемую чистую среду для точного производства электронных изделий (таких как полупроводники, микроэлектроника, жидкокристаллические дисплеи и т.д.). Обеспечивается устойчивый контроль таких параметров, как концентрация частиц, температура и влажность, давление воздуха, воздушный поток, шум, вибрация, освещение и электростатический заряд, что гарантирует высокий процент выхода годной продукции и повторяемость производства.
Ключевые концепции проектирования и технические аспекты
Следуя принципам системности, модульности и масштабируемости, создаются многоуровневые барьеры и средства контроля. Класс чистоты проектируется в соответствии с технологическими требованиями от ISO Class 1 до 8. Ключевые технологические зоны (например, зона фотолитографии) требуют ISO 3-5 класса, где используется однонаправленный поток (ламинарный поток), создающий «эффект поршня» для быстрого удаления загрязнений за счет подачи воздуха через потолочные фильтры HEPA/ULPA и возврата через напольные решетки. В некритических зонах применяется неоднонаправленный поток (турбулентный поток), разбавляющий загрязнения с помощью FFU и возврата воздуха через фальшпол. Точный контроль параметров среды: температура 22±1°C, влажность 45±5% RH для предотвращения электростатических разрядов и окисления материалов; ступенчатый перепад давления (5-15 Па) предотвращает обратный поток загрязнений; антистатическое проектирование включает фальшпол, стены, заземление оборудования и антистатические браслеты для персонала. Производство высокого класса также требует химических фильтров для удаления AMC (загрязняющих веществ в виде газообразных молекул).
Объем услуг и преимущества
Услуги охватывают полный жизненный цикл: от консультаций и планирования (анализ потребностей, определение класса), детального проектирования (технологические процессы, ОВКВ, системы автоматического управления), отделочных и конструктивных работ (сэндвич-панели, фальшпол), систем кондиционирования и очистки воздуха (FFU, высокоэффективные приточные отверстия), систем инженерных коммуникаций (специальные газы, электроснабжение), автоматического управления (интеграция EMS/BMS), тестирования и сертификации (подсчет частиц, проверка перепада давления) до обучения и поддержки эксплуатации. Области применения включают полупроводники, МЭМС, технологии отображения, прецизионную электронику и научно-исследовательские лаборатории. Преимущества заключаются в большом опыте работы в отрасли, использовании передовых международных технологий очистки и энергосбережения (например, вентиляторы EC, частотное регулирование), профессиональном управлении проектами и строгом соответствии стандартам ISO/GMP и другим.
Проект очистки воздуха на электронном заводе, благодаря точному контролю множества параметров и услугам на всех этапах, обеспечивает стабильную и надежную чистую среду для электронного производства, являясь ключевой инфраструктурой для повышения качества продукции и эффективности производства.
Проектные кейсы