
Полупроводниковое чистое производственное помещение является основным носителем для изготовления чипов, его требования к окружающей среде значительно превышают требования обычной чистой комнаты, что в основном проявляется в пяти основных аспектах: чистота воздуха должна соответствовать стандарт...
Полупроводниковое чистое производственное помещение является основным носителем для изготовления чипов, его требования к окружающей среде значительно превышают требования обычной чистой комнаты, что в основном проявляется в пяти основных аспектах: чистота воздуха должна соответствовать стандартам класса 100, класса 10 и даже выше, чтобы экранировать от помех микрочастиц; контроль температуры и влажности крайне строгий, колебания температуры должны быть ≤±0.1°C, влажность требует точной регулировки для обеспечения стабильности технологического процесса; контроль вибрации и электростатических разрядов крайне важен, необходимо обеспечить работу прецизионного оборудования за счет антивибрационного проектирования и создать антистатическую систему (например, антистатическая одежда, полы) для предотвращения повреждения компонентов; подача сред должна быть предельно чистой, чистота и стабильность сверхчистой воды, высокочистых газов и химикатов напрямую влияют на выход годных чипов; обработка отходящих газов и сточных вод требует применения специальных технологий (например, система ступенчатого дренажа) для соответствия строгим экологическим стандартам.
Инженерные услуги охватывают четыре основных модуля:
1.На этапе планирования и проектирования, на основе технологических потребностей, осуществляется общая компоновка, проектирование потоков людей и материалов, используется технология BIM для трехмерного моделирования и комплексного размещения трубопроводов, а также учитываются специальные требования, такие как антивибрационное проектирование и защита от электростатических разрядов;
2.На этапе строительства и отделки устанавливаются ограждающие системы, такие как антистатические огнестойкие сэндвич-панели, одновременно со строительством систем освещения, электрооборудования, автоматического управления кондиционированием, водоснабжения и водоотведения, а также систем обработки воздуха;
3.Интеграция ключевых систем включает: систему очистки воздуха с трехступенчатой фильтрацией, системы сверхчистой воды и специальных газов, технологические трубопроводы, системы обработки сточных вод и отходящих газов, пожарную безопасность, автоматическое управление, силовое и слаботочное электроснабжение и другие профессиональные системы;
4.На этапе тестирования и сертификации проводятся проверки окружающей среды и динамический мониторинг чистоты (например, тестирование взвешенных частиц), оказывается помощь в прохождении отраслевой сертификации; эксплуатация и поддержка включают диагностику, техническое обслуживание, обучение и сертификацию персонала, а также услуги по установке и обслуживанию оборудования.
При выборе подрядчика услуг следует в первую очередь рассматривать поставщиков, предлагающих режим генерального подряда EPC, чтобы избежать рисков на стыках и контролировать сроки и стоимость; ключевыми критериями оценки являются их успешный опыт проектов в области полупроводников/интегральных схем, возможности проектирования с использованием BIM и владение ключевыми технологиями (например, контроль низкой точки росы); необходимо проверять наличие специализированной лицензии на подрядные работы в электронной промышленности, лицензий на проектирование и строительство, а также сертификатов систем менеджмента качества, таких как ISO9001; в конечном итоге, проверка способностей к управлению проектом обеспечит своевременную и качественную сдачу проекта.
Проектные кейсы